SIRM红外体微缺陷分析仪

产品简介
SIRM是非接触和非破坏型光学检测设备，对体微缺陷，如氧化物和金属沉淀，位错、堆垛层错，体材料中的滑线和空隙等进行测试。

这个技术也可对GaAs 和 InP等复合材料进行测试。

产品型号：

更新时间：2025-11-28

厂商性质：生产厂家

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产品分类

PRODUCT CLASSIFICATION

半导体材料测试

体微缺陷测试霍尔电阻迁移率光伏光致发光深能级瞬态谱测试椭偏拉曼AFM 半导体多功能测试 CV测试系统集成测试仪器租赁

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Capability:

无需制样
最小测试缺陷尺寸10nm
测试缺陷浓度范围:10⁵-10⁹cm^-3
可做外延片测试
测试样品最大尺寸300mm

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