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产品简介
BM600G-4P探针冷热台是一款针对半导体芯片研发,测试而专门设计的产品。热台拥有高精度的探针位移平台。
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主要参数
温度范围 -190℃℃~600℃;加热区:φ30mm
探针行程13mm;探针位移精度 1um;探针针尖直径(默认)100um
物镜工作距离15mm;通光孔直径:2mm;观察窗:φ40mm
最大升温速率150°C/min;最慢升温速率0.1°C/min;温控精度 :0.1℃
支持反射/透射模式支持改动和定制上位机软件控制
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