半导体晶圆缺陷检测仪是一种用于检测半导体晶圆表面缺陷的设备
2025-02-11
半导体晶圆缺陷检测仪主要用于检测半导体晶圆表面的缺陷,确保芯片的质量和性能。这些设备利用亮场和暗场显微成像技术,通过自动化的图像捕捉以及人工智能分析工具,快速且有效地检测晶圆表面的缺陷,如位错、颗粒、凹坑、划痕和污染等半导体晶圆缺陷检测仪主要利用光学或电子束技术,通过检测材料表面的微观结构和电学特性的异常来识别缺陷。这些缺陷可能包括晶体缺陷(如位错、晶界)、化学缺陷(如杂质)、结构缺陷(如孔洞、裂纹)以及工艺缺陷(如氧化层缺陷、光刻缺陷)等。检测仪通过测量半导体材料或器...